精超是用合适的油石材料来达到完美的精加工。
磨料颗粒的大小由欧洲磨料联合会等组织决定产品(FEPA)，和日本工业标准委员会(JIS)。大多数超精加工工艺使用的是FEPA标准下粒度在400至1200之间的传统磨料。些应用，如微型轴承，可能需要使用亚微米大小的颗粒。般来说，使用更细的粒度可以改善表面光洁度。本段所示的表格比较了使用FEPA和JIS标准的传统磨料颗粒的公称粒径。
磨料颗粒大小
| FEPA | JIS | Micron |
|---|---|---|
| 320 | 500 | 35 |
| 400 | 700 | 23 |
| 500 | 1000 | 18 |
| 600 | 1200 | 14 |
| 800 | 2000 | 8 |
| 1000 | 3000 | 5 |
| 1200 | 4000 | 3 |
| 1500 | 6000 | 1 |
超硬磨料的应用需要更大的磨料去除利用较大的粒度大小的磨料颗粒。较大磨粒的粒度也由国际标准组织确定，下表显示了FEPA、mesh和微米尺寸对一些常见的较大磨粒的影响。
磨料颗粒大小
| FEPA | Mesh | Micron |
|---|---|---|
| D426 | 40/50 | 426 µm |
| D356 | 45/50 | 356 µm |
| D301 | 50/60 | 301 µm |
| D251 | 60/70 | 251 µm |
| D213 | 70/80 | 213 µm |
| D181 | 80/100 | 181 µm |
| D151 | 100/120 | 151 µm |
| D126 | 120/140 | 126 µm |
| D107 | 140/170 | 107 µm |
| D91 | 170/200 | 91 µm |
| D76 | 200/230 | 76 µm |
| D64 | 230/270 | 64 µm |
| D54 | 270/325 | 54 µm |
| D46 | 325/400 | 46 µm |